产品概要

E系列增强型手动探针台是一款功能进阶级探针台，能实现 1μm 以上的电极 Pad 测试，工效学设计简单易操作，灵活的UPStart™ 模块化设计，客户可通过的成本升级更多的测试功能，如：毫米波 mmW，FA、MEMS、WLR 和光电等测试。

E系列增强型手动探针台应用方向

LD/LED/PD的光强/波长测试、晶圆二极管、三极管测试、PCB元器件测试、材料/器件的IV/CV特性测试、、功率器件测试、MEMS器件测试、射频测试等

技术特点

POMater™ 自适应隔震底座

自适应减震底座设计，德国进口隔震材料增强弹性支撑，实现不同程度的刚性硬度和承载范围，并有效过滤环境中的震动源干扰，确保探针末端和样品的Pad稳定接触，提升测试的稳定性。

卡盘可升降调节

卡盘可微调升降，行程 5mm，精度 10μm，便于样品快速分离探针。

显微镜气动式快速升降

显微镜气动式快速升降，便于更换显微镜和探针卡夹具。

大尺寸机台设计

大尺寸机身结构，增强操作舒适度。更大空间的针座平台，支持 加载针卡，提升点针测试效率。

机台定制应用案例

1、石英样品台6英寸，玻璃样品台卡在不锈钢上，不锈钢卡盘通过立柱固定在X-Y平移台上部 2、玻璃样品台采用高透紫外线玻璃，透光波长单位200nm-1100nm透光率85%以上，样品固定方式采用弹片固定 3、两个样品台可以拆卸使用

产品结构